光刻正胶
的有关信息介绍如下:正性光刻胶,树脂是一种叫做线性酚醛树脂的酚醛甲醛,提供光刻胶的黏附性、化学抗蚀性,当没有溶解抑制剂存在时,线性酚醛树脂会溶解在显影液中;感光剂是光敏化合物(photo active compound,PAC),最常见的是重氮萘醌(DNQ),在曝光前,DNQ 是一种强烈的溶解抑制剂,可降低树脂的溶解速度。在紫外曝光后,DNQ 在光刻胶中化学分解,成为溶解度增强剂,大幅提高显影液中的溶解度因子至100 或者更高。这种曝光反应会在DNQ 中产生羧酸,它在显影液中溶解度很高。正性光刻胶具有很好的对比度,所以生成的图形具有良好的分辨率。
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