Simone一种微型动态压阻压力传感器及其制造方法
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《一种微型动态压阻压力传感器及其制造方法》是王文襄于2003年11月12日申请的专利，该专利的申请号为2003101063298，公布号为CN1544901，公布日为2004年11月10日，发明人是王文襄、李水侠、刘秀娥。
《一种微型动态压阻压力传感器及其制造方法》用MEMS硅体微机械加工方法制造E型硅杯结构的力敏芯片，芯片背面用静封工艺与Pyrex玻璃环及日立合金环焊接，形成硅背面接触介质准齐平封装，芯片背面覆盖抗干扰的绝缘层，芯片正面经转接电路外接引出电缆，尾部有电缆引出口的传感器管帽密封焊接到日立合金环，形成测压面与背压腔间密封隔离，管帽尾部挤紧电缆不密封，穿套在电缆外的套管管口部密封套住管帽尾部，穿套在电缆外的热缩导管段密封固定套管口外端部，实现背压腔与被测环境大气沟通，用于大坝、船闸、桥墩、堤防、舰船、鱼雷及海洋平台等水工缩模试验，具有低量程、高灵敏、强抗干扰性、流体动力学试验动态性能优良。
2007年，《一种微型动态压阻压力传感器及其制造方法》获得第五届江苏省专利项目奖优秀奖。
（概述图为《一种微型动态压阻压力传感器及其制造方法》摘要附图 ）
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